等離子去膠機(jī)是一種利用等離子體技術(shù)進(jìn)行表面清洗和去膠的設(shè)備。其基本原理是通過氣體放電產(chǎn)生等離子體，這些高能粒子能夠解離化學(xué)鍵、改變分子結(jié)構(gòu)，從而有效去除硅片、玻璃片等材料表面的污染物、有機(jī)硅油、油脂、殘留的光刻膠等雜質(zhì)；通過射頻電源產(chǎn)生高頻電磁場，使氣體分子電離形成等離子體。這些等離子體中含有大量高能電子、離子和自由基等活性粒子，這些活性粒子能夠與材料表面的污染物發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，將其分解成小分子并去除。同時(shí)，等離子體中的高能粒子還能夠?qū)Σ牧媳砻孢M(jìn)行物理轟擊，進(jìn)一步促進(jìn)污染物的去除。
 

　　等離子去膠機(jī)的技術(shù)特點(diǎn)：
 

　　非接觸式處理：等離子去膠技術(shù)是一種非接觸式脫膠技術(shù)，不接觸材料表面即可去除污染物和殘留物，避免了接觸造成的二次污染。
 

　　高效清潔：等離子體中的高能粒子能夠迅速地分解有機(jī)物質(zhì)，并通過揮發(fā)作用將它們從基材上移除，大大提高了工作效率。同時(shí)，適用于多種材料和工藝，包括硅片、玻璃片、金屬等。
 

　　環(huán)保節(jié)能：整個(gè)過程中使用的都是惰性氣體(如氬氣)或是空氣作為原料，不會(huì)產(chǎn)生有害廢物，符合綠色環(huán)保要求。相較于傳統(tǒng)的濕法清洗工藝，等離子去膠所需能量更少，有助于降低生產(chǎn)成本的同時(shí)也更加節(jié)能。
 

　　操作簡便靈活：現(xiàn)代等離子去膠機(jī)大多配備有控制系統(tǒng)，支持全自動(dòng)運(yùn)行模式，只需簡單設(shè)置參數(shù)即可完成復(fù)雜的去膠任務(wù)。同時(shí)，結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)合理，關(guān)鍵部件壽命長，日常使用中幾乎不需要特別的維護(hù)工作。
 

　　等離子去膠機(jī)因其優(yōu)勢，在多個(gè)領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用：
 

　　半導(dǎo)體工業(yè)：用于去除晶圓表面的光刻膠殘留，確保后續(xù)工藝的質(zhì)量。
 

　　光電子工業(yè)：用于清洗和去膠，提高器件的性能和穩(wěn)定性。
 

　　液晶顯示器行業(yè)：用于去除基板表面的污染物和殘留膠層，保證顯示效果的清晰度。
 

　　材料科學(xué)研究：用于去除材料表面的保護(hù)膜和污染物，便于進(jìn)一步研究和應(yīng)用。